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  • 商品名称: 反射镜
  • 商品编号: D300
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特征:面形精度高、表面质量好、抗激光损伤阈值高

应用领域:强激光系统、紫外激光系统

对材料的要求:

材料:H-K9L、JGS1、康宁7980、微晶等

折射率nd允许差值:±2×10-4

色散系数vd允许差值:±0.2%

光学均匀性:±2×10-6

应力双折射:2-5nm/cm

条纹度:C

气泡度:a0

光吸收系数:k200<0.005cm-1

 

技术指标:

尺寸(mm

材料

光洁度(S/D

反射PV@λ=632.8nm

平行度

表面粗糙度Rqnm

通光口径

厚度公差(mm

交期

160×200×18

H-K9L/石英

10-5

1/10λ

10”

0.5

90%

±0.05

7

200×200×20

H-K9L/石英

10-5

1/10λ

10”

0.5

90%

±0.05

8

200×260×30

H-K9L/石英

10-5

1/10λ

10”

0.5

90%

±0.05

8

430×560×60

H-K9L/石英

10-5

1/4λ

10”

0.5

90%

±0.05

12

φ380×60

石英/微晶

10-5

1/12λ

10”

0.5

90%

±0.05

7

 


加工流程:粗磨→精磨→初抛→环抛

关键控制:磨料的选择、不同磨料的去除量控制、环抛

反射镜的材料通常采用H-K9L和石英,亦可采用具有极低热膨胀系数的微晶玻璃,形状可以是方形、圆形或者异形,尺寸、面形精度、光洁度等指标可根据客户要求定制。反射镜是采用环抛与数控抛光相结合,可对表面进行确定性加工,具有极高的反射面形精度,残留应力小,表面加工轨迹可满足特殊要求,可镀高反膜或者高透膜,适用于大型精密光学系统。

关键词: 大口径 高精度