特征：面形精度高、表面质量好、抗激光损伤阈值高
应用领域：强激光系统、紫外激光系统
对材料的要求：
材料：H-K9L、JGS1、康宁7980、微晶等
折射率nd允许差值：±2×10-4
色散系数vd允许差值：±0.2%
光学均匀性：±2×10-6
应力双折射：2-5nm/cm
条纹度：C
气泡度：a0
光吸收系数：k200＜0.005cm-1
技术指标：
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尺寸（mm）
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材料
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光洁度（S/D）
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反射PV@λ=632.8nm
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平行度
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表面粗糙度Rq（nm）
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通光口径
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厚度公差（mm）
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交期
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160×200×18
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H-K9L/石英
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10-5
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1/10λ
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10”
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0.5
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90%
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±0.05
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7周
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200×200×20
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H-K9L/石英
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10-5
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1/10λ
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10”
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0.5
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90%
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±0.05
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8周
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200×260×30
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H-K9L/石英
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10-5
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1/10λ
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10”
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0.5
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90%
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±0.05
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8周
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430×560×60
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H-K9L/石英
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10-5
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1/4λ
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10”
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0.5
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90%
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±0.05
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12周
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φ380×60
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石英/微晶
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10-5
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1/12λ
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10”
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0.5
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90%
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±0.05
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7周
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加工流程：粗磨→精磨→初抛→环抛
关键控制：磨料的选择、不同磨料的去除量控制、环抛
反射镜的材料通常采用H-K9L和石英，亦可采用具有极低热膨胀系数的微晶玻璃，形状可以是方形、圆形或者异形，尺寸、面形精度、光洁度等指标可根据客户要求定制。反射镜是采用环抛与数控抛光相结合，可对表面进行确定性加工，具有极高的反射面形精度，残留应力小，表面加工轨迹可满足特殊要求，可镀高反膜或者高透膜，适用于大型精密光学系统。
