热门搜索:大口径平面元件 超光滑
高精度 高损伤阈值
对材料的要求:
材料:贺利氏312、BF33
折射率nd允许差值:±2×10-4
色散系数vd允许差值:±0.2%
光学均匀性:±2×10-6
应力双折射:2-5nm/cm
条纹度:C
气泡度:a0
光吸收系数:k200<0.005cm-1
尺寸(mm)
材料
光洁度(S/D)
透射PV@λ=632.8nm
平行度
表面粗糙度Rq(nm)
通光口径
厚度公差(mm)
交期
330×330×2
BF33
10-5
1/4λ
10”
0.5
90%
±0.05
4周
430×430×3
430×430×10
贺利氏312
430×430×40
5”
加工方式:数控抛光
加工流程:粗磨→精磨→初抛光→精抛光→数控抛光
关键控制:磨料的选择、不同磨料的去除量控制、精抛光、数控抛光
大口径窗口片的材料通常采用肖特的硼硅浮法玻璃BOROFLOAT33或者贺利氏的熔石英SUPRASIL312,其具有卓越的耐热性能、光学性能、化学稳定性以及机械强度,还具有极低的本征荧光现象。大口径窗口片具有极高的透射面形精度,其表面加工轨迹满足特殊要求,同时还具有超微损伤的表面和亚表面,适用于大型强激光系统。
关键词: 面形精度高、表面质量好、抗激光损伤阈值高