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  • 商品名称: 标准镜
  • 商品编号: D630
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特征:面形精度高、表面质量好、抛光轨迹均匀

应用领域:大口径精密激光干涉仪、精密光学系统

对材料的要求:

材料:JGS1、康宁7980、微晶等

折射率nd允许差值:±2×10-4

色散系数vd允许差值:±0.2%

光学均匀性:±2×10-6

应力双折射:2-5nm/cm

条纹度:B

气泡度:a0

光吸收系数:k200<0.005cm-1

热膨胀系数(CTE):±0.1×10-6/K (微晶)

技术指标:

 

尺寸(mm)

材料

光洁度(S/D)

反射PV@λ=632.8nm

表面粗糙度Rq(nm)

通光口径

角度公差

厚度公差(mm)

交期

φ380×60

石英/微晶

10-5

1/12λ

0.5

φ350

10’

±0.05

12周

φ630×100

石英/微晶

10-5

1/12λ

0.5

φ600

10’

±0.05

16周

加工方式:古典抛光

加工流程:粗磨→精磨→初抛→环抛

关键控制:磨料的选择、不同磨料的去除量控制、初抛环抛

标准镜分为透射楔镜和反射镜,材料通常采用石英或具有极低热膨胀系数的微晶玻璃(如德国肖特的ZERODUO),形状可以是方形、圆形,尺寸、面形精度、光洁度等指标可根据客户要求定制。标准镜采用大型环抛机抛光,具有极高的透射面形精度或者反射面形精度,残留应力小,表面加工轨迹均匀,可满足特殊要求,可作为大口径精密激光干涉仪标准镜。