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产品详情
特征:面形精度高、超光滑表面、抗激光损伤阈值高
应用领域:软X射线探测器、软X射线显微镜、软X射线投影光刻机、紫外激光器、紫外激光打标机、激光陀螺等。
对材料的要求:
材料:JGS1、康宁7980、贺利氏312等熔石英及微晶、晶体等
折射率nd允许差值:±2×10-4
色散系数vd允许差值:±0.2%
光学均匀性:±2×10-6
应力双折射:2-5nm/cm
条纹度:C
气泡度:a0
光吸收系数:k200<0.005cm-1
技术指标:
直径(mm) |
径厚比 |
光洁度(S/D) |
反射PV@λ=632.8nm |
平行度 |
表面粗糙度Rq(nm) |
有效口径 |
尺寸公差(mm) |
φ8-φ30 |
10:1 |
5-1 |
1/20λ |
2” |
0.2 |
90% |
±0.05 |
φ30-φ60 |
10:1 |
5-1 |
1/20λ |
2” |
0.2 |
90% |
±0.05 |
关键词:
超光滑光学元件
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